Aikin 909 Mai Girma Mai Girma Mai Girma Haɗin Kai Tsakanin Masana'antar Da'ira babban aikin gini ne na masana'antar lantarki ta ƙasata a cikin Tsarin Shekaru Biyar na tara don samar da kwakwalwan kwamfuta mai faɗin layin 0.18 microns da diamita na 200 mm.
Fasahar masana'anta na manyan da'irori da aka haɗa ba wai kawai ya haɗa da ingantattun fasahohi masu inganci kamar micro-machining ba, har ma suna sanya manyan buƙatu akan tsabtace gas.
Babban samar da iskar gas na Project 909 yana samuwa ne ta hanyar haɗin gwiwa tsakanin Praxair Utility Gas Co., Ltd. na Amurka da ƙungiyoyi masu dacewa a Shanghai don kafa masana'antar samar da iskar gas tare. gini, rufe wani yanki na kimanin murabba'in murabba'in mita 15,000. The tsarki da fitarwa bukatun na daban-daban gas
Ana samar da nitrogen mai tsabta (PN2), nitrogen (N2), da oxygen mai tsabta (PO2) ta hanyar rabuwar iska. High-tsarki hydrogen (PH2) Ana samar da electrolysis. Argon (Ar) da helium (He) ana siya daga waje. An tsarkake iskar gas mai mahimmanci kuma ana tace don amfani a cikin Project 909. Ana ba da iskar gas na musamman a cikin kwalabe, kuma ɗakin kwalban iskar gas yana cikin taron bita na haɗin gwiwar masana'antar samar da kewaye.
Sauran iskar gas kuma sun haɗa da tsarin CDA mai gurɓataccen busasshen iska, tare da ƙarar amfani da 4185m3/h, matsi na raɓa na -70°C, da girman barbashi wanda bai wuce 0.01um ba a cikin iskar a wurin amfani. Numfashi matsa iska (BA) tsarin, amfani girma 90m3 / h, matsa lamba raɓa 2 ℃, barbashi size a cikin gas a batu na amfani ne ba fi girma fiye da 0.3um, tsari injin (PV) tsarin, amfani girma 582m3 / h, vacuum digiri a wurin amfani -79993Pa . Tsarin tsaftacewa (HV), ƙarar amfani da 1440m3 / h, digiri na digiri a wurin amfani -59995 Pa. Dakin kwampreso na iska da ɗakin famfo na iska duka suna cikin yankin masana'antar aikin 909.
Zaɓin kayan bututu da kayan haɗi
Gas ɗin da ake amfani da shi a cikin samar da VLSI yana da buƙatun tsabta sosai.High-tsarki bututun iskar gasyawanci ana amfani da su a cikin yanayin samarwa mai tsabta, kuma kula da tsabtarsu ya kamata ya dace da ko sama da matakin tsabta na sararin samaniya da ake amfani da shi! Bugu da ƙari, ana amfani da bututun iskar gas mai tsabta a cikin wuraren samar da tsabta. Tsabtataccen hydrogen (PH2), iskar oxygen mai ƙarfi (PO2) da wasu iskar gas na musamman suna ƙonewa, fashewa, masu goyan bayan konewa ko iskar gas mai guba. Idan an tsara tsarin bututun iskar gas ba daidai ba ko kuma an zaɓi kayan da ba daidai ba, ba wai kawai tsabtar iskar gas ɗin da ake amfani da ita za ta ragu ba, amma kuma za ta gaza. Ya cika ka'idodin tsari, amma ba shi da haɗari don amfani kuma zai haifar da gurɓatawar masana'anta mai tsabta, yana shafar aminci da tsabta na masana'anta mai tsabta.
Tabbatar da ingancin iskar gas mai tsabta a wurin amfani ba kawai ya dogara da daidaiton samar da iskar gas, kayan aikin tsarkakewa da kuma tacewa ba, amma kuma yana da tasiri sosai ta hanyar abubuwa da yawa a cikin tsarin bututun mai. Idan muka dogara da kayan samar da iskar gas, kayan aikin tsarkakewa da masu tacewa Ba daidai ba ne don ƙaddamar da madaidaicin madaidaicin buƙatun don rama ƙarancin ƙirar tsarin bututun iskar gas ko zaɓin abu.
A lokacin tsarin zane na aikin 909, mun bi "Lambar don Zane Tsabtace Tsabtace Tsabtace" GBJ73-84 (ma'auni na yanzu shine (GB50073-2001)), "Lambar don Zane na Tashoshin Jiragen Sama" GBJ29-90, "Lambar don Ƙirƙirar Tashoshin Oxygen" GB50030-91 , "Lambar don Zane na Hydrogen da Oxygen Stations" GB50177-93, da matakan fasaha masu dacewa don zaɓar kayan bututu da kayan haɗi. "Lambar Tsarin Tsabtace Tsabtace Tsabtace Tsabtace" ta tanadi zaɓin kayan bututun da bawuloli kamar haka:
(1) Idan tsarkin iskar gas ya fi ko daidai da 99.999% kuma raɓar raɓa ta ƙasa da -76°C, 00Cr17Ni12Mo2Ti ƙananan bututun ƙarfe na ƙarfe (316L) tare da bangon ciki na electropolished ko OCr18Ni9 bakin karfe bututu (304) tare da Ya kamata a yi amfani da bangon ciki na electropolished. Bawul ɗin ya zama bawul ɗin diaphragm ko bawul ɗin bellow.
(2) Idan tsarkin iskar gas ya fi ko daidai da 99.99% kuma raɓar raɓa ta ƙasa da -60°C, OCr18Ni9 bututun bakin karfe (304) tare da bangon ciki na lantarki ya kamata a yi amfani da shi. Sai dai bawul ɗin bellow ɗin da ya kamata a yi amfani da su don bututun iskar gas mai ƙonewa, sai a yi amfani da bawul ɗin ƙwallon don sauran bututun iskar gas.
(3) Idan raɓar busasshiyar iska ta cika ƙasa da -70 ° C, OCr18Ni9 bututun bakin karfe (304) tare da bangon ciki mai goge ya kamata a yi amfani da shi. Idan raɓa batu ne ƙasa da -40 ℃, OCr18Ni9 bakin karfe bututu (304) ko zafi-tsoma galvanized sumul karfe bututu kamata a yi amfani. Bawul ɗin ya zama bawul ɗin bellow ko bawul ɗin ball.
(4) Kayan bawul ɗin ya kamata ya dace da kayan bututu mai haɗawa.
Dangane da buƙatun ƙayyadaddun ƙayyadaddun bayanai da matakan fasaha masu dacewa, galibi muna la'akari da waɗannan abubuwan yayin zabar kayan bututun:
(1) Ƙarƙashin iska na kayan bututu ya zama ƙananan. Bututu na kayan daban-daban suna da nau'in iska daban-daban. Idan an zaɓi bututu masu girman iska, ba za a iya cire ƙazanta ba. Bututun bakin karfe da bututun jan karfe sun fi kyau wajen hana shiga da lalata iskar oxygen a cikin yanayi. Duk da haka, tun da bututun bakin karfe ba su da aiki fiye da bututun tagulla, bututun tagulla sun fi aiki wajen barin danshi a cikin sararin samaniya ya shiga cikin samansu. Sabili da haka, lokacin zabar bututu don bututun iskar gas mai tsabta, bututun bakin karfe yakamata ya zama zabi na farko.
(2) Abubuwan da ke ciki na kayan bututu suna tallata su kuma suna da ƙananan tasiri akan nazarin gas. Bayan da aka sarrafa bututun bakin karfe, za a ajiye wani adadin iskar gas a cikin ledansa na karfe. Lokacin da iskar gas mai tsafta ta ratsa ta, wannan bangare na iskar zai shiga cikin iskar ya haifar da gurbatar yanayi. A lokaci guda kuma, saboda haɓakawa da bincike, ƙarfen da ke saman saman bututun zai kuma samar da wani adadin foda, yana haifar da gurɓataccen iskar gas mai tsabta. Don tsarin bututu tare da tsabta sama da 99.999% ko matakin ppb, 00Cr17Ni12Mo2Ti ƙananan bututun bakin karfe na carbon (316L) yakamata a yi amfani dashi.
(3) Juriya na bututun ƙarfe na bakin karfe ya fi na bututun tagulla, kuma ƙurar ƙurar da ke haifar da yashwar iska ba ta da yawa. Ayyukan samarwa tare da buƙatu mafi girma don tsabta na iya amfani da 00Cr17Ni12Mo2Ti ƙananan bututun bakin karfe na carbon (316L) ko OCr18Ni9 bututun bakin karfe (304), ba za a yi amfani da bututun jan karfe ba.
(4) Don tsarin bututu tare da tsaftar iskar gas sama da 99.999% ko ppb ko matakan ppt, ko a cikin ɗakuna masu tsabta tare da matakan tsabtace iska na N1-N6 da aka ƙayyade a cikin "Tsaftataccen Tsarin Fassara Mai Tsabta", bututu mai tsabta koEP ultra-tsabta bututuya kamata a yi amfani da shi. Tsaftace "bututu mai tsabta tare da saman ciki mai laushi".
(5) Wasu daga cikin na'urorin bututun iskar gas na musamman da ake amfani da su wajen samar da iskar iskar gas mai lalatawa sosai. Bututun da ke cikin waɗannan tsarin bututun dole ne su yi amfani da bututun bakin karfe mai jure lalata a matsayin bututu. In ba haka ba, bututun za su lalace saboda lalata. Idan tabo na lalacewa sun faru a saman, ba za a yi amfani da bututun ƙarfe na yau da kullun maras sumul ko galvanized welded karfe bututu ba.
(6) A ka'ida, duk haɗin bututun iskar gas ya kamata a haɗa su. Tun da walda na galvanized karfe bututu zai lalata galvanized Layer, galvanized karfe bututu ba a amfani da bututu a cikin tsabta da dakuna.
Yin la'akari da abubuwan da ke sama, bututun iskar gas da bawul ɗin da aka zaɓa a cikin aikin &7& sune kamar haka:
Ana yin bututun tsarin nitrogen mai ƙarfi (PN2) da 00Cr17Ni12Mo2Ti ƙananan bututun ƙarfe na ƙarfe (316L) tare da bangon ciki na lantarki, kuma bawul ɗin an yi su da bawul ɗin bakin ƙarfe na ƙarfe na kayan abu ɗaya.
Ana yin bututun tsarin nitrogen (N2) da 00Cr17Ni12Mo2Ti ƙananan bututun bakin ƙarfe (316L) tare da bangon ciki na lantarki, kuma bawul ɗin an yi su ne da bawul ɗin bakin ƙarfe na ƙarfe iri ɗaya.
The high-tsarki hydrogen (PH2) tsarin bututu da aka yi da 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon bakin karfe bututu (316L) tare da electropolished ciki bango, da bawuloli da aka yi da bakin karfe bellows bawuloli na guda abu.
Ana yin bututun tsarin iskar oxygen mai ƙarfi (PO2) da 00Cr17Ni12Mo2Ti ƙananan bututun ƙarfe na ƙarfe (316L) tare da bangon ciki mai gogewa na lantarki, kuma bawul ɗin an yi su da bakin ƙarfe bellows bawul na abu ɗaya.
Argon (Ar) tsarin bututu an yi su ne da 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon bakin karfe bututu (316L) tare da electropolished ciki bango, da bakin karfe bellows bawuloli na abu daya ake amfani.
Ana yin bututun tsarin helium (He) da 00Cr17Ni12Mo2Ti ƙananan bututun bakin ƙarfe na carbon (316L) tare da bangon ciki na lantarki, kuma bawul ɗin an yi su da bawul ɗin bakin karfe na kayan abu ɗaya.
Tushen tsarin busassun busassun iska (CDA) ana yin bututun bututun bakin karfe na OCr18Ni9 (304) tare da bangon bangon ciki mai gogewa, kuma bawul ɗin an yi su da bawul ɗin bellows na bakin karfe na abu ɗaya.
The numfashi matsawa iska (BA) tsarin bututu da aka yi da OCr18Ni9 bakin karfe bututu (304) tare da goge ciki ganuwar, da bawuloli da aka yi da bakin karfe ball bawuloli na guda abu.
Tushen tsarin tsarin (PV) ana yin su ne da bututun UPVC, kuma bawul ɗin an yi su ne da bawul ɗin injin malam buɗe ido da aka yi da abu ɗaya.
Ana yin bututun tsarin tsaftacewa (HV) da bututun UPVC, kuma bawul ɗin an yi su ne da bawul ɗin malam buɗe ido da aka yi da abu ɗaya.
Bututun na tsarin iskar gas na musamman duk an yi su ne da 00Cr17Ni12Mo2Ti ƙananan bututun bakin ƙarfe na carbon (316L) tare da bangon ciki na lantarki, kuma bawul ɗin an yi su ne da bawul ɗin bakin karfe na kayan abu ɗaya.
3 Gina da shigar da bututun mai
3.1 Sashe na 8.3 na “Tsaftace Lambobin Ƙirar Gine-ginen Masana’anta” ya ƙulla tanadi masu zuwa don haɗin bututun:
(1) Ya kamata a haɗa haɗin bututu, amma ya kamata a yi amfani da bututun ƙarfe mai zafi mai zafi.
(2) Ya kamata a haɗa bututun bakin ƙarfe ta hanyar waldawar argon da walƙiya ta butt ko waldar soket, amma ya kamata a haɗa bututun iskar gas mai tsabta ta hanyar walda ba tare da alamar bangon ciki ba.
(3) Haɗin kai tsakanin bututu da kayan aiki ya kamata ya bi ka'idodin haɗin kai na kayan aiki.Lokacin da ake amfani da haɗin ginin, ya kamata a yi amfani da hoses na karfe.
(4) Haɗin kai tsakanin bututu da bawuloli ya kamata su bi ka'idodi masu zuwa
① The sealing abu haɗa high-tsarki gas bututu da bawuloli kamata amfani da karfe gaskets ko biyu ferrules bisa ga bukatun da samar da tsari da kuma iskar gas halaye.
② Abun rufewa a zaren zaren ko haɗin flange yakamata ya zama polytetrafluoroethylene.
3.2 Bisa ga buƙatun ƙayyadaddun bayanai da matakan fasaha masu dacewa, haɗin haɗin bututun iskar gas mai tsabta ya kamata a welded kamar yadda zai yiwu. Ya kamata a guji walda kai tsaye yayin walda. Ya kamata a yi amfani da hannayen bututu ko gama haɗin gwiwa. Ya kamata a yi hannayen bututu na abu ɗaya da santsi na ciki kamar bututu. matakin, a lokacin walda, domin hana hadawan abu da iskar shaka na walda part, ya kamata a shigar da tsaftataccen iskar gas a cikin walda bututu. Don bututun ƙarfe, yakamata a yi amfani da waldawar argon, sannan a shigar da iskar argon mai tsabta iri ɗaya a cikin bututun. Dole ne a yi amfani da haɗin zare ko haɗin zaren. Lokacin haɗa flanges, ya kamata a yi amfani da ferrules don haɗin zaren. Sai dai bututun oxygen da bututun hydrogen, wadanda yakamata su yi amfani da gaskets na karfe, sauran bututun su yi amfani da gaskets na polytetrafluoroethylene. Aiwatar da ɗan ƙaramin roba na siliki zuwa ga gaskets shima zai yi tasiri. Haɓaka tasirin rufewa. Ya kamata a ɗauki irin wannan matakan lokacin da ake haɗa haɗin flange.
Kafin fara aikin shigarwa, cikakken dubawa na gani na bututu,kayan aiki, bawuloli, da dai sauransu dole ne a yi. Bangon ciki na bututun bakin karfe na yau da kullun yakamata a pickled kafin shigarwa. Bututu, kayan aiki, bawuloli, da dai sauransu na bututun iskar oxygen ya kamata a haramta su sosai daga mai, kuma yakamata a rage su sosai gwargwadon buƙatun da suka dace kafin shigarwa.
Kafin a shigar da tsarin kuma a yi amfani da shi, ya kamata a wanke tsarin watsawa da rarraba bututun gaba daya tare da iskar gas mai tsafta. Wannan ba wai kawai yana kawar da ƙurar ƙurar da suka faɗo cikin na'urar ba da gangan a lokacin aikin shigarwa ba, har ma yana taka rawa wajen bushewa a cikin tsarin bututun mai, yana kawar da wani ɓangare na gas mai dauke da danshi da bangon bututun ya sha, har ma da kayan bututu.
4. Gwajin matsa lamba na bututu da karɓa
(1) Bayan da aka shigar da tsarin, 100% duban rediyo na bututun da ke jigilar ruwa mai guba a cikin bututun gas na musamman za a gudanar da shi, kuma ingancin su ba zai zama ƙasa da matakin II ba. Sauran bututun za su kasance ƙarƙashin samfurin dubawa na rediyo, kuma rabon binciken samfurin ba zai zama ƙasa da 5 % ba, ingancin ba zai zama ƙasa da sa na III ba.
(2) Bayan wucewa gwajin da ba zai lalata ba, yakamata a yi gwajin matsa lamba. Don tabbatar da bushewa da tsabtar tsarin bututun, ba dole ba ne a yi gwajin matsa lamba na hydraulic, amma ya kamata a yi amfani da gwajin matsa lamba na pneumatic. Ya kamata a gudanar da gwajin matsa lamba ta hanyar amfani da nitrogen ko iska mai matsewa wanda ya dace da matakin tsabta na ɗaki mai tsabta. Gwajin gwajin bututun ya kamata ya zama sau 1.15 na ƙirar ƙira, kuma gwajin gwajin bututun ya kamata ya zama 0.2MPa. Yayin gwajin, matsa lamba ya kamata a hankali a hankali kuma a hankali a hankali. Lokacin da matsa lamba ya tashi zuwa kashi 50% na gwajin gwajin, idan ba a sami matsala ko ɗigo ba, ci gaba da ƙara matsa lamba mataki zuwa mataki da kashi 10% na gwajin gwajin, kuma daidaita matsa lamba na mintuna 3 a kowane matakin har sai gwajin gwajin. . Tabbatar da matsa lamba na minti 10, sa'an nan kuma rage matsa lamba zuwa matsa lamba na ƙira. Ya kamata a ƙayyade lokacin tsayawar matsa lamba bisa ga buƙatun gano ɗigogi. Wakilin kumfa ya cancanta idan babu yabo.
(3) Bayan tsarin injin ya wuce gwajin matsa lamba, ya kamata kuma ya gudanar da gwajin digiri na sa'o'i 24 bisa ga takaddun ƙira, kuma ƙimar matsin lamba kada ta wuce 5%.
(4) Gwajin zubewa. Don tsarin bututun mai na ppb da ppt, bisa ga ƙayyadaddun da suka dace, bai kamata a yi la'akari da ɗigo a matsayin wanda ya cancanta ba, amma ana amfani da gwajin adadin leakage yayin ƙira, wato, ana yin gwajin adadin ƙyalli bayan gwajin matsewar iska. Matsi shine matsa lamba na aiki, kuma an dakatar da matsa lamba na tsawon sa'o'i 24. Matsakaicin zubin sa'a bai kai ko daidai da 50ppm kamar yadda ya cancanta ba. Lissafin zubewar kamar haka:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
A cikin tsari:
Fitowar awa daya (%)
P1-Cikakken matsa lamba a farkon gwajin (Pa)
P2-Cikakken matsa lamba a ƙarshen gwajin (Pa)
T1-cikakken zafin jiki a farkon gwajin (K)
T2-cikakken zafin jiki a ƙarshen gwajin (K)
Lokacin aikawa: Dec-12-2023